Bộ điều khiển cắt plasma chủ yếu bao gồm các thành phần sau:
Nguồn điện tần số cao-: Được sử dụng để tạo ra điện trường-tần số cao;
Mạng so khớp: Được sử dụng để điều chỉnh sự phân bổ của điện trường-tần số cao trong buồng plasma;
Buồng plasma: Dùng để ion hóa các phân tử khí và tạo ra plasma;
Hệ thống chân không: Đảm bảo mức độ chân không và độ ổn định của buồng plasma;
Hệ thống điều khiển: Được sử dụng để kiểm soát các thông số plasma và đạt được sự kiểm soát ổn định các đặc tính điện của plasma.
